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原氣要求：氧氣純度：3N; CH化合物≤100PPm, H₂O≤500PPm;一般瓶裝氣、杜瓦瓶、管道氣均可滿足要求；

純氣指標：99.9999%（6N），露點：≤-80℃，CO+CO₂含量≤0.01PPm，H₂含量≤0.01PPm，CH化合物≤0.01PPm，固體顆粒物≤0.01μm；

設備特點：催化劑活性高，純化后的氣體純度高；

雙式結構，一組工作另一組再生備用，故能長期連續供氣；

采用全自動無人值守設計，操作更簡單，性能也更穩定可靠；

抗波動能力強，短時間流量、壓力、純度波動，短時間停電都不會影響設備工作；

具有完善的故障報警、記錄、查詢、智能指導功能，更有利于故障及時處理；

支持MODBUS TCP及RS485標準MODBUS通訊協議，可實現與上位機遠程監控的功能；

處理流量：4NM³/h；其余流量可定制。