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原氣要求：氦氣純度：3N;O₂≤500PPm, H₂O≤500PPm;一般瓶裝氣均可滿足要求；

純氣指標：99.99999%（7N），O₂含量≤0.01PPm，N₂含量≤0.1PPm，露點：≤-90℃，CO+CO₂含量≤0.01PPm，H₂含量≤0.01PPm，CH化合物≤0.01PPm，固體顆粒物≤0.01μm；

設(shè)備特點：催化劑活性高，純化后的氣體純度高；

雙式結(jié)構(gòu)，一組工作另一組再生備用，故能長期連續(xù)供氣；

采用本機純氣吹掃的再生流程，再生不用氫，故不需專用機房，安全性好；

采用全自動無人值守設(shè)計，操作更簡單，性能也更穩(wěn)定可靠；

采用分級純化設(shè)計，極大的延長了設(shè)備的使用壽命；

抗波動能力強，短時間流量、壓力、純度波動，短時間停電都不會影響設(shè)備工作；

具有完善的故障報警、記錄、查詢、智能指導(dǎo)功能，更有利于故障及時處理；

支持MODBUS TCP及RS485標準MODBUS通訊協(xié)議，可實現(xiàn)與上位機遠程監(jiān)控的功能；

處理能力：4NM³/h；其余氣量需要定制。