混合氣體凈化機(jī)可以除去混合氣體中的O2、H2O、CO2、碳?xì)浠衔?、固體顆粒物等雜質(zhì),將普通純度的混合氣體變成高純混合氣體,可以用作高純材料如:單晶硅、鍺、鎵、鎘等材料生產(chǎn)的保護(hù)氣氛;以及與石墨碳化爐、單晶爐、激光燒結(jié)爐等配套使用,生產(chǎn)高純的材料。



原氣要求:O2≤500PPm, H2O≤500PPm;
純氣指標(biāo):99.9999%(6N),O2含量≤0.01PPm,露點:≤-80℃,CO+CO2含量≤0.01PPm,CH化合物≤0.01PPm,固體顆粒物≤0.01μm;
設(shè)備特點:催化劑活性高,純化后的氣體純度高;
雙式結(jié)構(gòu),一組工作另一組再生備用,故能長期連續(xù)供氣;
采用全自動無人值守設(shè)計,操作更簡單,性能也更穩(wěn)定可靠;
采用分級純化設(shè)計,極大的延長了設(shè)備的使用壽命;
抗波動能力強(qiáng),短時間流量、壓力、純度波動,短時間停電都不會影響設(shè)備工作;
具有完善的故障報警、記錄、查詢、智能指導(dǎo)功能,更有利于故障及時處理;
支持MODBUS TCP及RS485標(biāo)準(zhǔn)MODBUS通訊協(xié)議,可實現(xiàn)與上位機(jī)遠(yuǎn)程監(jiān)控的功能;
處理能力:4NM3/h;其余流量可定制。
公司名稱:成都市興亞科技有限公司
地 址:成都市邛崍市南江路33號7棟
聯(lián) 系 人:王經(jīng)理 18982298618